측정 장비 리스트

3차원 측정기

메 이 커 : ZEISS

모 델 명 : CONTURA / CONTURA G2

측정범위 : X(600) Y(600) Z(500)

정 밀 도 : 1.4 + L/350 ㎛

비커스 경도계

메 이 커 : Mitutoyo

모 델 명 : MVK-E3

시험하중 : 10g, 25g, 50g, 100g, 200g, 300, 500g, 1000g

대물렌즈 배율 : 10배, 55배

측정범위 : 25mm x 25mm

형상측정기

메 이 커 : Mitutoyo

모 델 명 : CV-3200

측정범위 : X 100mm, Z1 60mm

해 상 도 : X 0.05 ㎛, Z1 0.04 ㎛

측정속도 : 0.02 - 20mm/s

조도측정기

메이커 : Mitutoyo

모델명 : SJ-310

측정범위 : X축 17.5mm

감지기 범위/해상도

    360 ㎛ / 0.02 ㎛

    100 ㎛ / 0.006 ㎛

     25 ㎛ / 0.002 ㎛

높이 측정기

메 이 커 : TRIMOS

모 델 명 : V600

측정범위 : 600 mm

분 해 능 : 0.001 mm

반복정밀도 : 0.002 mm

정 밀 도 : 2.5 + L / 300 ㎛

2D 측정기

메이커 : Electronica

모델명 : Precihite 600

측정범위 : 600 mm

분 해 능 : 0.001 mm

반복정밀도 : 0.0015 mm

정 밀 도 : 2 + L / 330 ㎛

진원도 측정기

메이커 : KOSAKA

모델명 : Roncorder EC1850H

회전 정밀도 : (0.02 + 0.00035H) ㎛ H : Height from table(mm)

회전 정밀도 : (0.02 + 0.00035R) ㎛ R : Radius from ratation center

테이블 크기 : Ø 230mm

최대측정경 : Ø 360mm

수직 측정범위 : 300mm

진직도 정도 : 0.15㎛ / 100mm (0.2㎛ / 300mm)